量测原理
反射分光法(光干涉法)、非破坏性量测
膜厚量测范围
1~50μm(显示上限60μm)
重复精度
2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)
量测时间
1秒内
量测层数
1层
数据输出
附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案
量测Spot
Φ1mm以下
重量