中级商铺
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m（ 一次拍照）、4 8 8 n m（ 合成） |
| 视野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | 10nm（相位差） |
| 视野 z | ±700μm |
| 样品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm（安装通用样品架时） |
| 样品台 | 微动X Y样品台（自动） X:±10 mm Y：±10 mm 粗动样品台 X：12 9 mm Y：8 5 mm |
| 激光 | 波长 6 3 8 nm 输出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 对测量样品的照射强度) |
| 尺寸（长×宽×高）mm | 本体：5 0 5（W）×6 3 0（D）×4 3 9（H） ± 2 0 m m ※不含P C、附属品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本体：2 9 0 VA ※不含P C、附属品 |
测量仪器