电子枪

电子枪

① 高稳定性（长期稳定无放电）

通过制造技术及模拟仿真技术来消除放电因素

② 高精度组装

利用光学显微镜进行高精度组装

③ 超高真空电子束（=10^-9Pa，@1atm=10^5Pa）生产

真空室可烘烤最大直径为Φ200毫米的零件。