| 型号 | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 |
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm |
| 膜厚/反射/透过/相位差 | 〇 | ||||
| 色测量 | 〇 | x | |||
| 扫描时间 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||
| 光斑直径 | φ1.2mm | ||||
| 光纤长度 | 1m～长度需相商 | ||||
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
MCPD-6800仕様
| 型号 | MCPD-6800 | |||
2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透过/相位差/色测量 | 〇 | |||
| 扫描时间 | 16ms～65s | |||
| 光斑直径 | φ1.2mm | |||
| 光纤长度 | １ｍ～ 长度需相商 | |||
